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更新时间:2026-09-16
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光源有十几种,探测器也有十几种,到了测试测量这一栏,名目更多:光功率计、能量计、光谱分析仪、波长计、光束分析仪、噪声分析仪、自相关仪、偏振测量仪、自准直器、表面分析设备……
量具这么多,是因为光本身可以由一堆互相独立的量来描述:有多强、什么颜色、什么形状、稳不稳、什么时候到的。想测哪个,就得换哪台仪器。
这一篇不打算逐个讲原理,而是把这堆仪器按「到底在测什么」归拢一下,顺带说说各自的坑在哪里。
一、先问一句:测功率还是测能量
一切从最基础的量开始。光是连续的还是一串脉冲,决定了该看哪一个。
连续光看功率,单位是瓦。脉冲光则不同——峰高会随着脉宽和重复频率变来变去,单看峰值没什么意义,真正要紧的是每个脉冲携带的能量,单位是焦。两者之间只差一个换算:能量是功率对时间的积分,而平均功率等于单脉冲能量乘以重复频率。
图1:连续光读功率,脉冲光算能量
探头也有两套。一类是光电二极管:响应快、灵敏度高,纳瓦到几毫瓦都灵,但灵敏面小、容易被强光打坏,而且读数随波长变,必须按波长校准。另一类是热敏探头(热电堆):靠吸热升温来测,从可见一直到远红外响应都很平坦,量程也宽,几十瓦照样扛得住,代价是慢。
测量前还有个不起眼但很要紧的动作:校零。探头自身的暗电流与环境杂散光会贡献一个底数,不挡光归零就直接读,小信号会被这个底数整个带偏。热敏探头尤其如此,它的响应本来就慢,温度一漂,零点也跟着挪。
量程的下限则由噪声等效功率决定——读数低到与噪声同量级时,那个数就没什么意义了。所以标称「纳瓦级」的探头,真要量准纳瓦,得看它在那个读数下的不确定度,而不是只看分辨率显示几位。
选之前值得先想清楚三件事:连续还是脉冲;波长设对没有;功率会不会超标。最后一条尤其容易被忽略——灵敏探头被强光一照,可能就永-久损伤了。
二、看颜色:光谱分析仪
功率计把所有波长的光加在一起给一个数。若想知道每一段波长各占多少,就得把光拆开,这就是光谱分析仪(OSA)的活。
图2:拆开之后,看每个波长各有多少
核心是一个分光元件加一列探测器。光栅把不同波长甩到不同角度,阵列各点分别接收,于是得到强度随波长变化的曲线。
这里有个词容易被误用,就是分辨率。它说的是「两个靠得很近的谱线能不能分开」,用分辨率带宽(RBW)衡量。狭缝开得越窄,分得越开,可进光量也变小,灵敏度跟着降——又是一次折中。
还有个更隐蔽的坑:动态范围。强峰旁边若有个很弱的小峰,前者在仪器内部产生的散射光很容易把后者淹没。这个指标有时候比分辨率更要命。
还有一件容易被漏掉的事:波长要定期校准。光栅与阵列的相对位置会随温度、随时间慢慢挪,过一段时间不校,读出来的波长会整体偏掉。校准的办法是拿一条已知谱线的标准光源(比如气体放电灯的谱线)打进去,看看读数与标准值差多少。
另外,扫描范围与采样点数也是一对矛盾:跨度拉大则采样变稀,窄的谱线可能被采漏;点数加密则扫得慢。做窄线宽测量时,宁可把跨度收窄、点数加密。
最后提醒一句:分辨率是「分得开」,精度是「读得准」,两者不是一回事,别混着看。
三、只要一个数,但要极准:波长计
如果只关心中心波长,不关心谱形,那不必动用光谱仪——波长计更快也更准。
常见的有两条路。干涉式靠数条纹:动镜移动一段距离,干涉条纹变化多少次,就能反推出波长,精度可以做到很高。光栅式则是看衍射角落在线阵的哪个位置,结构紧凑、响应快,但精度略逊一-筹。
图3:数条纹还是看角度,精度差着好几个数量级
两者的精度通常差上好几个数量级。要盯着波长稳不稳、漂了没有,就持续测;只是找一下中心波长,扫一遍即可。
顺便说一句:波长计对跳模比较敏感。如果光源本身在两个模式之间来回跳,读数会跟着乱跳——这时候光谱仪反而更能看出问题。
四、看形状:光束分析仪与 M²
功率和颜色都对了,光斑的形状与传播特性又是另一回事。这直接影响能不能聚焦到足够小、能不能传得足够远。
描述高斯光束最要紧的两个数是束腰半径 w₀(最细处有多粗)与远场的发散角 θ。把这两个数和波长凑在一起,就得到无量纲的 M²:
M² = π · w₀ · θ / λ,理想高斯光束 M² = 1
图4:光斑多粗、散得多快,要看整条 w(z) 曲线
M² 越大,同样粗细的光束散得越快,也聚不回同样小的点。它是个很实在的指标——所谓「光束质量好不好」,说的就是它。
测法上有刀口或扫描狭缝(挪着切过去,靠透过的光强反推光斑尺寸),也有 CCD 相机直接拍(一次成图,看形状方便,但要防饱和)。无论哪种,都必须沿光路多测十来个位置,束腰附近与远场都要覆盖,拟合出整条 w(z) 曲线才算得出 M²。只测一处是算不出来的——这一点最常被忽略。
还有个细节值得留意:光斑半径怎么定义,结果会不一样。常用的有 1/e²(强度降到峰值约 13.5% 处的半径)与按二阶矩算出来的两种,后者是标准里规定的做法,对光斑边缘的杂散光更敏感。同一个光斑用两种定义报出来的数并不相同,比对数据时得先问清是哪一种。
再就是孔径截断:光斑被镜头或光阑切掉一部分,算出来的尺寸就偏小。相机靶面不够大时尤其容易踩这个坑。
五、稳不稳、纯不纯、快不快
还有三个量分属不同的时间尺度,很容易被混为一谈。
图5:三个不同的时间尺度,各归各
强度噪声看的是功率在微微抖动,通常用相对强度噪声(RIN)描述,单位是 dBc/Hz。它高,说明光源不稳,做吸收测量或相干测量都会受拖累。
线宽看的是谱线有多窄,从千赫兹到兆赫兹不等。线宽越窄,相干长度越长,相干通信与分布式传感都指望它。
脉宽则是另一个极-端。飞秒脉冲快到电子学根本跟不上,只能靠光学自相关:把脉冲分成两束,一束走固定臂,另一束走可调延迟,再让它们在非线性晶体里合频——只有当两束在时间上重叠时才有信号,扫一遍延迟就得到自相关迹线,再反推脉宽。
测噪声时有个天然的下限绕不过去:散粒噪声。光由一份份光子组成,到达的数目本身就有统计起伏,与仪器做得多好无关。它给出的相对强度噪声下限与光功率成反比——功率越小,这条底线越高。所以测弱光的噪声,先算一算散粒噪声在哪,免得把它当成光源的毛病。
三个量分属不同尺度,一个看功率抖不抖,一个看颜色纯不纯,一个看脉冲多短。弄清楚要问哪一个,才不会拿错仪器。
六、还有几位:偏振、角度与面形
剩下几位各有各的用场,但思路是一致的——都是把某个量测出来。
偏振测量仪测的是偏振态与消光比。光纤型的要留意偏振模色散,否则测出来的可能不是器件本身的特性。
自准直器测角度,表面分析设备测面形。它们不关心光有多强,只关心方向或形状准不准,属于另一条线。
成像系统与相机则把空间分布测准,核心是分辨率、动态范围与线性度,与功率测量是两回事。
七、选型时究竟看什么
把上面这些串起来,选仪器其实是在依次问四个问题。
图6:一张表看懂该拿哪台去量
测哪个量——功率、能量、光谱、波长、形状、噪声、偏振,先定性;
量程与波长范围——超出这两条,其他指标再好也没用;
要「准」还是要「快」——这条经验很管用,多数取舍都绕着它转;
会不会伤到仪器——灵敏探头怕强光,量程上限与损伤阈值都得看清楚。
接口形式、要不要配衰减、采样速率、软件能不能导出数据——多半是这四条的延伸。
八、总结
测试仪器分出这么多种,根源在于光可以被拆成很多个互相独立的量来问。每多问一个,就得换一台机器。
先分清是连续还是脉冲(测功率还是测能量);
再分清要的是总量还是分布(功率计给一个数,光谱仪给一条曲线,波长计只给一个极准的数);
量光束则必须沿光路多点采样才能拟合出 M²,只测一处算不出来。
要分辨率就得收窄狭缝,接受灵敏度下降;要精度就得上干涉式,接受结构复杂;要快就得用阵列,接受精度打折。所谓选型,说到底就是先想清楚哪一个数最不能让步,然后接受其他方面的妥协。
下次打开那一长串设备清单,不妨先问一句:究竟要的是哪一个数。想通了这一层,清单就没那么难读了。