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当前位置：首页 > 产品展示 > 光学测量仪器 > 相机/镜头/机器视觉 > FS70L4-TH用于半导体检测显微镜 三丰Mitutoyo FS70
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Related Articles详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 组件类别 | 光学元件 | 应用领域 | 综合 |
| 参数 | 见参数表 |
| 名称 | 货号货期 | |
|---|---|---|
| FS70L4-TH 用于半导体检测显微镜 (1x管镜头 C-mount带开关) | FS70L4-TH E80100149 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；俯角 Tilt angle：0°-20°；光通比：可调100/0 or 0/100；防护滤光片：内置激光滤光片；适用激光波段：532/266nm；1X管镜头；相机安装端口：C-mount开关(带绿色滤光片转换开关)；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo；物镜（用于激光切割）：M Plan UV |
| FS70L4 用于半导体检测显微镜 (1x管镜头 C-mount带开关) | FS70L4 E80100148 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；光通比：可调100/0 or 0/100；防护滤光片：内置激光滤光片；适用激光波段：532/266nm； 1X管镜头；相机安装端口：C-mount开关(带绿色滤光片转换开关)；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo；物镜（用于激光切割）：M Plan UV |
| FS70L-TH 用于半导体检测显微镜 (1X管镜头 TV接口激光) | FS70L-TH E80100147 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；俯角 Tilt angle：0°-20°；光通比：可调100/0 or 0/100；防护滤光片：内置激光滤光片；适用激光波段：1064/532/355nm；1X管镜头；相机安装端口：使用带TV接口的激光；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo；物镜（用于激光切割）：M/LCD Plan NIR；M/LCD Plan NUV |
| FS70L 用于半导体检测显微镜 (1x管镜头 TV接口激光) | FS70L E80100146 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；光通比：可调100/0 or 0/100；防护滤光片：内置激光滤光片；适用激光波段：1064/532/355nm； 1X管镜头；相机安装端口：使用带TV接口的激光；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo；物镜（用于激光切割）：M/LCD Plan NIR；M/LCD Plan NUV |
| FS70Z-TH 用于半导体检测显微镜 (1x-2x管镜头 C-mount) | FS70Z-TH E80100145 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；俯角 Tilt angle：0°-20°；光通比：可调100/0 or 0/100；带1X-2X变焦放大倍率转换器；相机安装端口：C-mount；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo |
| FS70Z 用于半导体检测显微镜 (1x-2x管镜头 固定光通比50/50 C-mount) | FS70Z E80100144 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；光通比：固定 50/50；带1X-2X变焦放大倍率转换器；相机安装端口：C-mount；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo |
| FS70-TH 用于半导体检测显微镜 (1X管镜头 可调光通比 C-mount接口) | FS70-TH E80100143 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；俯角 Tilt angle：0°-20°；光通比：可调100/0 or 0/100；1X管镜头；相机安装端口：C-mount；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo |
| FS70 用于半导体检测显微镜 (1X管镜头 固定光通比50/50 C-mount) | MP-FS70 E80100060 | 聚焦调节行程：50mm 粗调 3.8mm/rev 微调 0.1mm/rev ；直立图像；瞳距调节范围： 51 - 76mm；视场数 Field number：24；光通比：固定 50/50；1X管镜头；相机安装端口：C-mount；物镜（用于观察）：M Plan Apo； M Plan Apo SL； G Plan Apo |
日本三丰Mitutoyo FS70 半导体检测显微镜,半导体观测显微镜 ,工作距离足够长，倍数高，能够应用在各种检测场合和质量确认方面。搭配Mitutoyo的全系列可见光远场校正镜头，显微镜系统的放大倍率可涵盖20X到8000X，工作距离范围从6到34mm。对焦目镜可安装直径为25mm的测量分划板来测量。50/50三端输出显微镜的粗调范围为50mm，精确调整分辨率可达0.1mm，并可同时进行视频输出和双目观测。
FS70系列半导体检测显微镜单元是一款带目镜观察的小巧显微镜单元。适于检测金属表面、半导体、液晶基板、树脂等。可应用于切割、修整、校正、 给半导体电路做标记/ 薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
特点
采用Mitutoyo远场校正镜头
三端输出设计可轻松接收视频
转盘可接最多四个物镜
应用：
切割、修整、校正、 给半导体电路做标记
薄膜(绝缘膜) 清洁与加工、液晶彩色滤光器的修复(校正错误)。
还可用作光学观察剖面图以便探针分析半导体故障。
• 可用于红外光学系统*。
应用：晶体硅的内部观察；红外光谱特征分析。
* 需要红外光源和红外摄像机。
• 支持BF (亮视场)、DF (暗视场)、偏振光及微分干涉对比(DIC) 的型号(产品) 可用。
• 带有孔径光阑的柯勒照明是表面照明光学系统上的标准配件。
• 内倾转塔和超长工作距离的物镜确保了显微镜下的高可操作性。
技术参数
标准型号 | FS70 378-184-1 | FS70-TH 378-184-3 | FS70Z 378-185-1 | FS70Z-TH 378-185-3 | FS70L 378-186-1 | FS70L-TH 378-186-3 | FS70L4 378-187-1 | FS70L4-TH 378-187-3 |
Short base model No 短基础型号 | FS70S 378-184-2 | FS70-THS 378-184-4 | FS70ZS 378-185-2 | FS70Z-THS 378-185-4 | FS70L-S 378-186-2 | FS70L-THS 378-186-4 | FS70L4S 378-187-2 | FS70L4-THS 378-187-4 |
聚焦调节 Focus adjustment | 使用同心粗调(3.8mm/rev)和微调(0.1mm/rev)对焦轮(右/左)实现50mm行程范围 | |||||||
图像 Image | 正像 Erect image | |||||||
瞳距 Pupil distance | Siedentopf 登托夫型, 调节范围:2 - 3" / 51 - 76mm | |||||||
视场数 Field number | 24mm | |||||||
俯角 Tilt angle | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° |
光通比 Optical Pass Ratio | 固定(目 镜/TV＝ 50%/50%) | 可调型(目 镜/管径＝ 100%/0%： 0%/100%) | 固定(目 镜/TV＝ 50%/50%) | 可调型 (目镜/管径＝100%/0% or 0%/100%) | ||||
防护滤光片 | - | 内置激光滤光片 | ||||||
管径镜头 Tube lens | 1x | 1x-2x放大 | 1x | |||||
适用激光 | - | 1064/532/355nm | 532/266nm | |||||
相机安装端口 | C-mount (适用适配器B选件) | 使用带TV接口的激光 | C-mount开关(带绿色滤光片转换开关) | |||||
照明系统(选件) | 亮视场反射照明 (科勒照明、带孔径光阑) 12V100W亮视场反射照明、无极亮度调节、光纤长度 | |||||||
物镜（用于观察） | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
物镜（用于激光切割） | - | M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV | M Plan UV | |||||
载重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.2kg | 13.5kg | 13.9kg | 13.1kg |
重量（主机） | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.4kg | 7.2kg | 6.7kg | 7.5kg |
灯泡更换 | 标准: 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181) | |||||||
用于光纤传导照明装置 (12V, 100W) (378-700) | ||||||||
注：镜体的载重不包括物镜镜头和目镜的重量。
四种主体类型：
FS70-带1X管镜头的主体（非激光）
FS70Z-主体（非激光），带1X-2X变焦放大倍率转换器
FS70L-三YAG激光波长1064/532/355nm 主体1X*
FS70L4-两个波长范围532/266nm 主体1X*
Mitutoyo FS70 Inspection Microscope | |
Microscope System | |
Mitutoyo FS70 Microscope System (includes #55-999, #56-000, #56-001, #56-002) | #56-003 |
Microscope Head (One Required) | |
Mitutoyo FS70 Microscope Head | #55-999 |
Microscope Stand (One Required) | |
Mitutoyo FS70 Microscope Stand | #56-000 |
Microscope Eyepieces in Pairs (One Required) | |
10X WF Focusing Eyepieces, 24mm Field Dia. | #56-001 |
15X WF Focusing Eyepieces, 16mm Field Dia. | #56-310 |
20X WF Focusing Eyepieces, 12mm Field Dia. | #56-004 |
Microscope Turret (One Required) | |
Manual 4 Position Turret for Mitutoyo FS70 | #56-002 |
Motorized 4 Position Turret for Mitutoyo FS70 | #56-313 |
Microscope Stage (Optional) | |
2" x 2" XY-Axes Positioning Stage | #56-011 |
Accessories and Reticles (Optional) | |
Fiber Optic Light Guide for FS70, 72" Length | #56-008 |
Polarizer Set | #56-009 |
C-Mount Coupler (1X) for Video Adaptation | #56-010 |
90° Crossline, Reticle | #56-005 |
Concentric Circles Reticle, 1.2 - 18mm Dia, 1.2mm Increments | #56-007 |
20mm Line/0.1mm Divisions, Reticle | #56-183 |
5mm Line/0.05mm Divisions, Reticle | #56-184 |
90°/60° Crossline, Reticle | #56-311 |
Stock No. | Objective | WD (mm) | Resolving Power (μm) | 10X Eyepiece #56-001 | 15X Eyepiece #56-310 | 20X Eyepiece #56-004 | |||
Mag. | FOV (mm) | Mag. | FOV (mm) | Mag. | FOV (mm) | ||||
#58-235 | M Plan Apo 1X | 11 | 11 | 10-20X | 24-12 | 15-30X | 16-8 | 20-40X | 12-6 |
#46-142 | M Plan Apo 2X | 34 | 5 | 20-40X | 12-6 | 30-60X | 8-4 | 40-80X | 6-3 |
#46-143 | M Plan Apo 5X | 34 | 2 | 50-100X | 4.8-2.4 | 75-150X | 3.2-1.6 | 100-200X | 2.4-1.2 |
#66-383 | M Plan Apo 7.5X | 35 | 1.3 | 75-150X | 3.2-1.6 | 112.5-225X | 2.13-1.07 | 150-300X | 1.6-0.8 |
#46-144 | M Plan Apo 10X | 33.5 | 1 | 100-200X | 2.4-1.2 | 150-300X | 1.6-0.8 | 200-400X | 1.2-0.6 |
#46-145 | M Plan Apo 20X | 20 | 0.7 | 200-400X | 1.2-0.6 | 300-600X | 0.8-0.4 | 400-800X | 0.6-0.3 |
#46-146 | M Plan Apo 50X | 13 | 0.5 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
#46-147 | M Plan Apo 100X | 6 | 0.4 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
#46-398 | M Plan Apo 20X SL | 30.5 | 1 | 200-400X | 1.2-0.6 | 300-600X | 0.8-0.4 | 400-800X | 0.6-0.3 |
#46-399 | M Plan Apo 50X SL | 20.5 | 0.7 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
#46-401 | M Plan Apo 100X SL | 13 | 0.5 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
#34-247 | M Plan Apo 5X HR | 25.5 | 1.3 | 50-100X | 4.8-2.4 | 75-150X | 3.2-1.6 | 100-200X | 2.4-1.2 |
#58-236 | M Plan Apo 10X HR | 15 | 0.6 | 100-200X | 2.4-1.2 | 150-300X | 1.6-0.8 | 200-400X | 1.2-0.6 |
#58-237 | M Plan Apo 50X HR | 5.2 | 0.3 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
#58-238 | M Plan Apo 100X HR | 1.3 | 0.3 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
公司简介
筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年,是一家被上海市评为高新技术企业和拥有上海市专精特新企业称号的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m²的办公区域，建有500平先进的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来,依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围正在逐年增长。目前业务覆盖国内外各著名高校、顶级科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。
主要经营
激光器/光源
半导体激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子级联激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
气体激光器（HENE激光器、氩离子激光器、氦镉激光器）
光纤激光器（连续激光器、超短脉冲激光器）
光学元件
光纤光栅滤波器、光纤放大器、光学晶体、光纤隔离器/环形器、脉冲驱动板、光纤耦合器、气体吸收池、光纤准直器、光接收组件、激光控制驱动器等各种无源器件
激光分析设备
高精度光谱分析仪、自相关仪、偏振分析仪，激光波长计、红外相机、光束质量分析仪、红外观察镜等
光纤处理设备
光纤拉锥机、裸光纤研磨机 
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