640B绝对压力控制器（TDLAS系统研发）
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640B和641B压力控制器是独立、紧凑的闭环电子压力控制系统。每个都包含一个电容式压力计、常闭比例控制阀和闭环控制电子设备。

640B和641B压力控制器是独立、紧凑的闭环电子压力控制系统。每个都包含一个电容式压力计、常闭比例控制阀和闭环控制电子设备。640B控制绝对压力；641控制表压（相对于环境大气压的压力）。两种传感器均为Baratron®电容式压力计，满标度压力范围为100 psi至10 Torr。Baratron电容式压力计——以其读数精度、稳定性和分辨率的百分比而闻名——在较低的压力和较宽的动态范围内提供比应变更精确的测量 仪表传感器。此外，Baratron电容压力计没有硅油填充，这会导致滞后，并会减慢控制器的时间响应。 与标准MFC在电气上类似，640B/641B仅在200 mA时由±15 VDC供电，允许与标准电源/显示电子设备一起使用。压力输出和输入控制信号为线性0-5或0-10 VDC。640/641中包含两个触发点，带有LED状态指示灯，用作简单的开/关流程限制。 在MKS的最终测试期间，640/641控制回路调谐参数是针对典型安装条件预设的，但可针对不同条件和最佳性能进行现场调整。比例和积分项调整是简单的旋转开关，而不是电位计，以使OEM或具有多个控制器的用户能够将所有装置预设为相同的控制回路参数。