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2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪

产品简介

2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪
产品总览
具有高分辨率和效率的多功能光谱仪
随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展,极紫外辐射(EUV、XUV)已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。

产品型号:indigo-spectroscopy
更新时间:2025-02-12
厂商性质:经销商
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品牌筱晓光子价格区间面议
组成要素半导体激光器产品及设备产地类别进口
应用领域电子,电气,综合

2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪

产品总览

具有高分辨率和效率的多功能光谱仪

随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展,极紫外辐射(EUV、XUV)已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。因此,我们构建了一个模块化的 XUV / EUV 和软 X 射线光谱仪,可用于等离子体光谱学、源诊断和计量学。它te别适用于激光等离子体源(LPS)和高次谐波源(高次谐波产生high harmonic generation,HHG)。

该光谱仪设计灵活,适用于多种应用。对于广泛的几何形状,可以获得非常高的光谱分辨率。通常,分辨率仅受检测器系统像素大小的限制(XUV CCD 为 13.5 µm)。光谱仪的所有部件都是 UHV 级的。




2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪

2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪



公司简介


筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年是一家被上海市评为高新技术企业和拥有“上海市专精特新企业称号"的专业光学服务公司,业务涵盖设备代理以及项目合作研发,公司位于大虹桥商务板块,拥有接近2000m²的办公区域,建有500平优良的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室,为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来依托专业、强大的技术支持,以及良好的商务支持团队,筱晓的业务范围逐年增长。目前业务覆盖国内外各*高校、*科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室,奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。

公司自成立以来,始终遵循行业、诚信发展、探索创新、务实致远、以质取胜的服务理念,并在产品开发和销售中贯彻到底。公司自始至终秉承着国际标准的质量安全保障。多年来,公司一直致力于光学设备的设计开发,以及知识产权的保护。我们将不断完善管理机制和技术水平,为客户提供更安全环保的产品以及更优质的服务。



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