XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪 2-100nm-筱晓（上海）光子技术有限公司

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光学测量仪器

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详细介绍

品牌	其他品牌	价格区间	面议
组成要素	半导体激光器产品及设备	产地类别	进口
应用领域	化工,建材,电子

总览

具有高分辨率和效率的多功能光谱仪

随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展，极紫外辐射（EUV、XUV）已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。因此，我们构建了一个模块化的 XUV / EUV 和软 X 射线光谱仪，可用于等离子体光谱学、源诊断和计量学。它te别适用于激光等离子体源（LPS）和高次谐波源（高次谐波产生high harmonic generation，HHG）。

该光谱仪设计灵活，适用于多种应用。对于广泛的几何形状，可以获得非常高的光谱分辨率。通常，分辨率仅受检测器系统像素大小的限制（XUV CCD 为 13.5 µm）。光谱仪的所有部件都是 UHV 级的。

XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪 2-100nm,XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪 2-100nm

通用参数

宽带高光谱分辨率

普通光谱仪针对一个波长的特定分辨率进行了优化。相比之下，我们的专业设计可在宽带宽下实现高分辨率。例如，我们的 XUV 光谱仪在 12-41 nm 的整个带宽内达到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。

图片4.png

操作方式及可用性

我们灵活的光谱仪提供多种操作模式，可以在操作过程中改变。

通过使用行程范围为几厘米的多轴电动工作台，用户可以轻松地对设备进行校准。此外，可以在光束路径中在线放置不同的光学器件来测量不同的光束特性。该光谱仪具有以下工作模式:(1)XUV光束检测，(2)角分辨光谱，(3)高效、光谱分辨率高的成像光谱。

下图为角分辨光谱(a、b)和成像光谱(c、d)的测量结果。

图片5.png

我们提供

优质产品

为您的应用程序全定制

2-100 nm 的光谱范围

高达 λ/Δλ > 10000 的高分辨率

多功能设置：电动载物台和自适应法兰

不透光的设置：可以集成遮光罩

超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 条件

在线操作模式&对准&光束检测

狭缝和无狭缝设置

出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率

公司简介
筱晓(上海)光子技术有限公司是一家被上海市评为高新技术企业的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m²的办公区域，建有500平先进的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围正在逐年增长。目前业务覆盖国内外各著名高校、顶级科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。
主要经营
激光器/光源
半导体激光器（DFB激光器、SLD激光器、量子级联激光器、FP激光器、VCSEL激光器）
气体激光器（HENE激光器、氩离子激光器、氦镉激光器）
光纤激光器（连续激光器、超短脉冲激光器）
光学元件
光纤光栅滤波器、光纤放大器、光学晶体、光纤隔离器/环形器、脉冲驱动板、光纤耦合器、气体吸收池、光纤准直器、光接收组件、激光控制驱动器等各种无源器件
激光分析设备
高精度光谱分析仪、自相关仪、偏振分析仪，激光波长计、红外相机、光束质量分析仪、红外观察镜等
光纤处理设备
光纤拉锥机、裸光纤研磨机。