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2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪
产品简介
product
产品分类| 品牌 | 筱晓光子 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 组成要素 | 半导体激光器产品及设备 | 产地类别 | 进口 |
| 应用领域 | 电子/电池,电气,综合 |
2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪
具有高分辨率和效率的多功能光谱仪
随着在半导体制造中使用 13.5 nm辐射的 EUV 光刻技术的发展，极紫外辐射（EUV、XUV）已成为一个重要的工业意义。这导致对高分辨率和灵敏的诊断和测量技术的需求。因此，我们构建了一个模块化的 XUV / EUV 和软 X 射线光谱仪，可用于等离子体光谱学、源诊断和计量学。它te别适用于激光等离子体源（LPS）和高次谐波源（高次谐波产生high harmonic generation，HHG）。
该光谱仪设计灵活，适用于多种应用。对于广泛的几何形状，可以获得非常高的光谱分辨率。通常，分辨率仅受检测器系统像素大小的限制（XUV CCD 为 13.5 µm）。光谱仪的所有部件都是 UHV 级的。
2-100nm XUV/EUV 宽带软X射线高分辨率光谱仪
公司简介
筱晓(上海)光子技术有限公司成立于2014年，是一家被上海市评为高新技术企业和拥有“上海市专精特新企业称号"的专业光学服务公司，业务涵盖设备代理以及项目合作研发，公司位于大虹桥商务板块，拥有接近2000m²的办公区域，建有500平优良的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室，为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。十年来，依托专业、强大的技术支持，以及良好的商务支持团队，筱晓的业务范围逐年增长。目前业务覆盖国内外各*高校、*科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室，奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。
公司自成立以来，始终遵循行业、诚信发展、探索创新、务实致远、以质取胜的服务理念，并在产品开发和销售中贯彻到底。公司自始至终秉承着国际标准的质量安全保障。多年来，公司一直致力于光学设备的设计开发，以及知识产权的保护。我们将不断完善管理机制和技术水平，为客户提供更安全环保的产品以及更优质的服务。
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