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Fiz3D 面型干涉仪 (VICT技术 1秒测量0.6米工件 触摸屏操作)

简要描述:筱晓(上海)光子技术有限公司是一家被上海市评为高新技术企业的专业光学服务公司,业务涵盖设备代理以及项目合作研发,建有*的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室,为国内外客户提供专业技术支持服务
Fiz3D 面型干涉仪 (VICT技术 1秒测量0.6米工件 触摸屏操作)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2023-07-10
  • 访  问  量:496

详细介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组成要素半导体激光器产品及设备产地类别进口
应用领域化工,建材,电子
总览

面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。

VICT(Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷处的振动免疫) 打破了“干涉仪非常容易受到干扰、要在十 分精密的环境下工作"的认知。


Fiz3D 面型干涉仪 (VICT技术 1秒测量0.6米工件 触摸屏操作),Fiz3D 面型干涉仪 (VICT技术 1秒测量0.6米工件 触摸屏操作)
产品特点

30 纳米 jue对精度,1nm重复精度 

0.6 米直径工件, 仅需 1 秒测量

表面形貌 3D 成像

全新的触摸屏操作模式,Victsin 测量软件,现已支持Windows11

自动调平选件,让全自动测量成为现实

成盘测量选件 实现生产过程控制

一台机器可测量多种工件 通过更换不同的镜头 平面、凹面、凸面…

通用参数

能够测量的工件 

直径 < 600 mm

粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件

超快速、超高精度的表面形貌三维成像

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通过光路扩展,  测量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件

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通过CGH补偿器, 测量复杂曲面

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黑色或透明工件, 仍然能够测量

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适合半导体应用的MST(多表面测量) 一次采集, 同时完成上表面、下表面、厚度的计量。

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适合半导体应用的jue对测距干涉,量程 > 100 μm 可进行台阶、翘曲度、热变形的测量。

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出色的动态范围, 超过100条干涉条纹, 仍然可以分析

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将 FEA(有限元分析)引入干涉仪结构设计

根据文献, 干涉计算对 0~120 Hz 的振动敏感。 因此, 我们将机械结构的 7 阶模态设计到 127 Hz, 大大降低了机械结构对振动的敏感性

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超高重复精度

对一片 250mm 直径的平晶进行 1000 次连续测量。

PV 值的重复精度为 5.7 纳米 (1/111 λ) 

RMS 值的重复精度为 0.38 纳米 (1/1666 λ)

VICT Dop模式,数据未经人为修改


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三维成像原理

面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段, Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路


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VICT 技术原理

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选件

VICT High 超高精度 测量模式

支持到0.1纳米 ( 1/6330 λ)RMS重复精度 和1纳米(1/633 λ)PV重复精度, 对环境扰动进行建模分析, 包括振动、气流、光场在内的负面影响排除。

没有使用多次测量取平均的方法, 不会导致被测物面型被“美化" 。

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VICT Dop 多普勒抗振动测量模式

非常恶劣的工业环境下仍正常工作,所有模式中zui高的测量效率, 允许不使用隔振平台。

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蒙版跟踪


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超分辨三维图


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清洁度分析


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基础配置

主机型号测量尺寸(圆形-直径)(注1)立式使用卧式使用
Type100102mmOKOK
Type150152.4 mmOKOK
Type250250mmOKOK
Type340 (注2)340mmOKOK
Type450457.2 mmxOK
Type600609.6 mmxOK
注1:在80%直径以内使用时,可以获得更好的测量效果。
注2:推荐卧式使用,立式使用时会降低精度。

激光测距点数标准692,224
高清2,663,424
高速186,623
超高速692,224

测量激光激光器类型波长(nm)8h波长稳定度(nm)(注1)寿命(h)(注2)
稳定氦氖632.80.000520,000
稳定半导体(注3)6330.0250,000
高效氦氖632.80.120,000
高效半导体(注4)63565,000
注1:在恒温,隔振的实验室测试。
注2:由激光器厂家提供的参考寿命。
注3:推荐用于Vctsin MST
注4:可用于Victsin MST
计算机CPU独立显卡显示屏操作系统
Intel 12代i712核心NVIDIA Quadro2k分辨率Win10

测量软件Victsir软件模块扫描方式单平面干涉(注1)双平面干涉(注2)
Victsin Static (注3)OKX
Victsin PSI压电振镜OKX
Victsin MST波长调谐OKOK
注1:适用于大部分工件。
注2:通常适用于透明工件,同时对上表面,下表面,厚度,进行测量。
注3:基础版本,不推荐用于高精度测量。



测量精度

jue对精度 注1Type 100~250Type 340Type 450~600
PV31.64 nm或1/20λ42.19 nm或1/15 λ63.28 nm或1/10λ
RMS6.328 nm或1/100 λ8.437 nm或1/75λ12.66 nm或1/50 λ
注1:jue对精度被定义为"参考镜的jue对精度"实际测量的jue对精度=jue对精度+重复精度。
注2:波长为测量激光的波长,例如632.8 nm的测量激光,1/20约为31.64 nm,1/15约为42.19nm,1/12约为632.28 nm .
注3:该精度为我们提供的标准平面参考镜的精度,更高精度需求请联系销售人员。
注4:非平面参考镜的精度通常低于平面参考镜,具体数值请联系销售人员确认。

重复精度VICT-HighVICT-LowVICT-Dop
PV1 nm或1/633 λ3 nm或1/211λ10或1/63λ
RMS0.1nm或1/6330 λ0.3 nm或1/2110 λ1 nm或1/633λ
注1:实际精度与测量环境有关,zui高精度与VICT-High相同,表格内数值考虑了轻微的环境扰动。


PV值是 Peak to Valley (峰值与谷值的差值 )


RMS值是 Root Mean Square ( 均方根值 ),根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状,大多使用PV值来表示。

例如:面型精度的PV值是1/4λ时,表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm


重复精度定义

连续100次测量的允差 (95%置信度)


测试环境

样品放置于气浮隔振桌.上,样品距离参考镜100mm,光路被遮光罩包裹,房间内空调关闭,以避免气流扰动。


被测物

直径小于参考镜的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。


可靠性与环境要求

硬件可靠性平均没的有.故障工作时间>1000小时
平均连续没的有.故障工作时间>12小时/天
软件可靠性平均连续没的有.故障工作时间>12小时/天
对准角度允差

± 3°

光瞳调焦范围≥±1.5米
运输和贮存温度+10~+40 °c
湿度RH≤60%
工作条件温度+20~+25℃
温度变化≤±1℃ @24小时
湿度RH≤50%
电压AC 220V,50 Hz,1.5kW



公司简介
筱晓(上海)光子技术有限公司是一家被上海市评为高新技术企业的专业光学服务公司,业务涵盖设备代理以及项目合作研发,公司位于大虹桥商务板块,拥有接近2000m²的办公区域,建有500平*的AOL(Advanced Optical Labs)光学实验室,为国内外客户提供专业技术支持服务。公司主要经营光学元件、激光光学测试设备、以及光学系统集成业务。依托专业、强大的技术支持,以及良好的商务支持团队,筱晓的业务范围正在逐年增长。目前业务覆盖国内外各著名高校、顶级科研机构及相关领域等诸多企事业单位。筱晓拥有一支核心的管理团队以及专业的研发实验室,奠定了我们在设备的拓展应用及自主研发领域坚实的基础。
主要经营
激光器/光源
半导体激光器(DFB激光器、SLD激光器、量子级联激光器、FP激光器、VCSEL激光器)
气体激光器(HENE激光器、氩离子激光器、氦镉激光器)
光纤激光器(连续激光器、超短脉冲激光器)
光学元件
光纤光栅滤波器、光纤放大器、光学晶体、光纤隔离器/环形器、脉冲驱动板、光纤耦合器、气体吸收池、光纤准直器、光接收组件、激光控制驱动器等各种无源器件
激光分析设备
高精度光谱分析仪、自相关仪、偏振分析仪,激光波长计、红外相机、光束质量分析仪、红外观察镜等
光纤处理设备
光纤拉锥机、裸光纤研磨机 。


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